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SI-F 系列 微型傳感頭型分光干涉式 激光位移計
型號： SI-F 系列
品牌： 日本基恩士KEYENCE
產(chǎn)品描述
SI-F 系列 傳感頭包括超小傳感頭、長距離傳感頭和適用于其他各種應用的專用傳感頭。 傳感頭只由光纖和鏡頭組成，不包含電子零件 在自動化應用和傳感應用中無可挑剔的表現(xiàn)。 微型傳感頭可用于測量硅晶片等精密物體的厚度和翹曲度。 0.25 μm 的分辨率 算術運算電路將測量數(shù)據(jù)即時轉(zhuǎn)換為厚度。 傳感頭中沒有電子部件，不會產(chǎn)生熱量。 微型傳感頭可用于測量復印機等精密機械中的各個部件的動作。 無需預留安裝位置。 即使緊靠發(fā)熱的機身也能進行測量。 即使是高速工件也可安全地測量。 微型傳感頭可用于檢測載物臺停止的位置，因此可將實際值與參考值的差值反饋給相關設備。 無碰撞危險。 實現(xiàn)無時間誤差的多軸控制。 無需預留安裝位置。 微型傳感頭可用于測量各種要求精確測量的輥（例如膠輥）的偏轉(zhuǎn)。 非接觸測量方式避免損傷工件。 控制器即時算出并顯示偏轉(zhuǎn)度。 可緊跟高速旋轉(zhuǎn)的工件。 微型傳感頭可用于測量曝光掩模和玻璃基板的間隙。 即使掩模較厚亦可安裝微型傳感頭。 無需預留安裝位置。 傳感頭中沒有電子部件，不會產(chǎn)生熱量。 微型傳感頭可用于測量玻璃盤等光學透明物體的厚度。 0.25 μm 的分辨率 可測量高速旋轉(zhuǎn)的工件的厚度。 實現(xiàn)無時間誤差的多軸控制。 型號 SI-F01 SI-F10 SI-F80 類型 微型傳感頭型 傳感頭 長距離型 傳感頭 厚度測量型 傳感頭 測量范圍 0.05 至 1.1 mm *1 11.3 至 12.35 mm *1 0.05 至 1.1 mm *6 測量用光源 紅外 SLD 中心波長 820 nm 輸出 0.6 mW, 1 類激光產(chǎn)品 (IEC60825-1, FDA (CDRH) Part 1040.10*2) 光束直徑 ?20 μm*3 ?40 μm*3 ?20 μm*3 線性度 ±0.3 μm*4 ±0.3 μm*7 分辨率 0.25 μm *5 采樣周期 200 μs 導向光源 紅色半導體激光 波長 650 nm 輸出 0.1 mW, 1 類激光產(chǎn)品 (IEC60825-1, FDA (CDRH) Part 1040.10*2) LED顯示 目標靠近測量中心：綠光。目標在測量范圍內(nèi)：橙光。目標在測量范圍外：橙光閃爍。0.01% 的 F.S./°C 溫度波動 F.S.的0.01% 環(huán)境抗耐性 外殼防護級 IP67 IP64 環(huán)境光照 白熾燈/熒光燈：最大 10,000 lux 環(huán)境溫度 0 至 +85 °C 0 至 +40 °C 0 至 +50 °C 相對濕度 35 至 85 % RH (無凝結) 抗震性 10 至 55 Hz、雙振幅 1.5 mm、X,Y,Z 方向各 2 個小時 材料 SUS 材料 傳感頭 分光單元 聚碳酸酯 重量 約 24 g (含連接線) 約 38 g (含連接線) 約 39 g (含連接線) *1 表示與傳感頭正面的距離。對于長距離型傳感頭，會出現(xiàn)最大 ±0.2 mm 的個別差異。 型號 SI-F1003V SI-FA103 獨立型 SI-F1003/SI-FD500 類型 主控制器一體型 擴展控制器*3 可連接的光譜單元數(shù) 2 1 顯示 最小顯示單位 0.001 μm 無 顯示范圍 ±999.999 μm 至 ±9,999.99 mm，(可選 7 種設定) 顯示周期 10 次／秒 端子臺 激光遠程聯(lián)鎖輸入 無電壓輸入*1 無*1 定時 1 輸入 無電壓輸入 2*1 復位 1 輸入 無電壓輸入*1 自動調(diào)零1 輸入 激光控制輸入 模擬電壓輸出 ±10 V x 2 輸入，輸出阻抗: 100 ?*1 ±10 V x 1 輸入，輸出阻抗: 100 ?*1 模擬電流輸出 4 至 20 mA x 2 輸出，最大負載阻抗: 350 ?*1 4 至 20 mA x 1 輸出，最大負載阻抗: 350 ?*1 警報輸出 NPN 開集極輸出(N.C.)*1 無*1 通用比較器輸出 NPN 開集極輸出*1 擴展接口 定時輸入 無電壓輸入 2*1 復位輸入 無電壓輸入*1 自動調(diào)零輸入 程序切換輸入 無電壓輸入 x 3 輸入*1 警報輸出 NPN 開集極輸出(N.C.)*1 比較器/ 二進制 輸出 二進制輸出 測量數(shù)據(jù)輸出 (21 位), 可選 OUT 的 NPN 開集極輸出*1 選通脈沖輸出 NPN 開集極輸出*1 二進制選擇輸出 二進制選擇輸入 無電壓輸入*1 RS-232C 接口 測量數(shù)據(jù)輸出和控制輸入/輸出 (波特率最高可選擇 115200 bps) 無 USB 接口 兼容 2.0 HighSpeed(兼容 USB 1.1 Full-SPEED) Ethernet 接口 100Base-TX/10Base-T 主要功能 12 個 OUT 同時測量 額定 電源電壓 24 VDC ±10 %、紋波 (P-P) 10 % 以下 隨主控制器提供 消耗電流 連接 1 個傳感頭時: 0.6 A 以下、連接 6 個傳感頭時: 1.5 A 以下。 環(huán)境抗耐性 環(huán)境溫度 0 至 +50 °C*2 相對濕度 35 至 85 % RH (無凝結) 抗震性 10 至 55 Hz、雙振幅 0.5 mm、X,Y,Z 方向各 2 個小時 重量 約 600 g 約 300 g *1 ? NPN 開極集極額定輸出：最大 50 mA(最大 40 V)，殘余電壓：最大 0.5 V。微型傳感頭型分光干涉式 激光位移計
特性
傳感頭變化靈活，擴大測量范圍
消除發(fā)生測量錯誤的隱患
SI-F 系列微型傳感頭型分光干涉式激光位移計應用
測量晶片厚度
[優(yōu)點]
超高分辨率多功能控制器
不發(fā)熱
測量復印機中的輥的動作。
[優(yōu)點]
?2 mm 微型傳感頭最高可承受 85°C
5 kHz 高速采樣
定位高精度載物臺
[優(yōu)點]
10 mm 以上的設定距離最多 6 軸同時測量
?8 mm 小型傳感頭
高精度測量輥的偏轉(zhuǎn)。
[優(yōu)點]
對工件無傷害直接表示偏轉(zhuǎn)度
5 kHz 高速采樣
測量曝光掩模的間隙
[優(yōu)點]
80 mm 的設定距離?12 mm 小型傳感頭
不發(fā)熱
測量玻璃盤的厚度
[優(yōu)點]
超高分辨率5 kHz 高速采樣
最多 6 軸同時測量
(可實現(xiàn)的檢測距離: 80 至 81.1 mm)
*2 FDA 的激光分類以 Laser Notice No. 50 和 IEC60825-1 為依據(jù)。
*3 表示量測範圍內(nèi)的最小光束直徑。
*4 當測量對象是玻璃板并將平均測量次數(shù)設為 256 時獲得的值。
*5 當測量位于測量范圍中心的玻璃板表面并將平均測量次數(shù)設為 4,096 時獲得的值。
*6 厚度測量型傳感頭顯示玻璃板間距的測量范圍。請確保測量對象位于檢測距離范圍內(nèi)。
*7 當測量兩塊玻璃板間隙并將平均測量次數(shù)設為 256 時獲得的值。
計算、平均、濾波器、換算測量、測量值警報、容差設定、自動調(diào)零，數(shù)據(jù)存儲， 光線監(jiān)控器、8 程序存儲器、干涉計模式、遮罩、設定支持軟件連接等。
? 無電壓額定輸入：啟動電壓：最大 1 V，關閉電流：最大 0.6 mA。
? SI 系列的部分輸入/輸出電路是內(nèi)部共用電路。請注意，內(nèi)部公共端之間不會因連接線/外部設備之間的電位差而產(chǎn)生電位差。
要了解詳細信息，請參見“接線注意事項”。
*2 當連接兩個或更多擴展控制器時，環(huán)境溫度為 0 至 +40 °C。
*3 最多可在主控制器上連接 4 個擴展控制器。