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LT-9000 系列 表面掃描激光共焦位移計
型號： LT-9000 系列
品牌： 日本基恩士KEYENCE
產(chǎn)品描述
LT-9000 系列 分辨率高，適合高精度應(yīng)用 極小的光點尺寸，使微小點測量成為可能 透明物體厚度測量應(yīng)用共焦原理，可以對透明物體表面條件和厚度進行穩(wěn)定的測量。 可使用振蕩器對表面輪廓進行準(zhǔn)確跟蹤。 型號 LT-9501H LT-9001H LT-9501HSO(5654) LT-9001HSO(5655) 測量模塊兼容性 測量模塊無須工廠再校對即可互換 顯示 最小顯示單位 0.1 μm*1，1 μm2，0.01 ° 0.1 μm*1 顯示范圍 ±9，999.99 μm、±999，999 μm2、9，999.99 ° ±9，999.99 μm 顯微鏡功能 有 ― 有 ― 顯示周期 10 次/sec*2 終端模塊 模擬輸出 ±10 V x 2 輸出，輸出電阻: 100 Ω 計時輸入 無電壓輸入 復(fù)位輸入 自動調(diào)零輸入 顯示器專用電源為 24VDC*3 控制器I／O 判定模式 3 步進限制輸出 適用于 OUT1 (輸出 1) , OUT2 (輸出 2) 和 NPN 開路集電極輸出*4 二進位模式 二進制輸出 測量數(shù)據(jù)輸出 (21 位), 可選擇 OUT1/OUT2/PROFILE (輸出 1/輸出 2/外形) 選通脈沖輸出 NPN 開路集電極輸出*4 二進制選擇器輸出 二進制選擇輸入 無電壓輸入*4 穩(wěn)定性輸出 NPN 集電極開路輸出 激光遙控輸入 無電壓輸入 程序切換輸入 無電壓輸入 x 3 輸入 RS-232C 接口 測量數(shù)據(jù)輸出和控制輸入和輸出 (最高可選擇 115,200 位/秒 波德率) 視頻輸出 符合 NTSC 系統(tǒng) (針式連接頭) 主要功能 位移模式 距離測量、通明物厚度測量、角度測量、相關(guān)角度測量、表面選擇、反黑、屏蔽、趨勢圖顯示和掃描寬度/間隔改變*5 距離測量、通明物厚度測量、表面選 形狀模式 面積選擇 (平均數(shù)、最大、最小、最大至最小、 ―*6 一般功能 光強聚積、顯微鏡 (LT-9501H, LT-9501HSO (5654))、公差判斷、8 程序登錄、 額定 電源電壓 100 至 240 VAC ±10 %、50/60 Hz 額定值 功率消耗 最大 110 VA 環(huán)境抗耐性 污染等級 2 過電壓類別 II 環(huán)境溫度 0 至 +35 °C 相對濕度 35 至 85 % RH (無凝結(jié)) 重量 約 2.4 kg *1 顯示每 ±0.3 μm 的變化。 型號 LT-9011M LT-9011 LT-9031M LT-9031 類型 高精度型 長范圍型 檢測范圍 ±0.3 mm ±1.0 mm 參考距離 6 mm 30 mm 光源 類型 紅色半導(dǎo)體激光 波長 655 nm 輸出 170 μw (IEC 60825-1) /3.0 μw (FDA (CDRH) Part 1040.10) 激光分類 IIa 類激光產(chǎn)品 (FDA (CDRH) Part 1040.10) 光點直徑 約 ?2 μm 約 ?7 μm 掃描寬度/間隔 0 至 1,100 μm (6 步進) /1 至 10 μm (4 步進) 0 至 560 μm (6 步進) /1 至 8 μm (4 步進) 分辨率 0.3 μm*1 線性度 F.S. 的 ±0.5 %*1 F.S. 的 ±0.3 %*1 采樣周期 640 μs 至 356 ms (14 步進)*2 640 μs 至 187 ms (14 步進)*2 顯示 最小顯示單位 0.1 μm*3，1 μm2，0.01 ° 0.1 μm*3 顯示范圍 ±9，999.99 μm、±999，999 μm2、9，999.99 ° ±9，999.99 μm 顯微鏡功能 有 ― 有 ― 顯示周期 10 次/sec*4 終端模塊 模擬輸出 ±10 V x 2 輸出，輸出電阻: 100 Ω 計時輸入 無電壓輸入 復(fù)位輸入 自動調(diào)零輸入 顯示器專用電源為 24VDC*5 控制器I／O 判定模式 3 步進限制輸出 適用于 OUT1 (輸出 1) , OUT2 (輸出 2) 和 NPN 開路集電極輸出*6 二進位模式 二進制輸出 測量數(shù)據(jù)輸出 (21 位), 可選擇 OUT1/OUT2/PROFILE (輸出 1/輸出 2/外形) 選通脈沖輸出 NPN 開路集電極輸出*6 二進制選擇器輸出 二進制選擇輸入 無電壓輸入*6 穩(wěn)定性輸出 NPN 集電極開路輸出 激光遙控輸入 無電壓輸入 程序切換輸入 無電壓輸入 x 3 輸入 RS-232C 接口 測量數(shù)據(jù)輸出和控制輸入和輸出 (最高可選擇 115,200 位/秒 波德率) 視頻輸出 符合 NTSC 系統(tǒng) (針式連接頭) 顯微鏡功能 功能有無 兼容 N/A 兼容 N/A 視圖欄 1.3 mm x 1.05 mm ― 2.5 mm x 2.0 mm ― 類型 有 無 有 無 照明光源 紅外線 LED ― 紅外線 LED ― 主要功能 位移模式 距離測量、通明物厚度測量、角度測量、相關(guān)角度測量、表面選擇、反黑、屏蔽、趨勢圖顯示和掃描寬度/間隔改變*7 距離測量、通明物厚度測量、表面選 形狀模式 面積選擇 (平均數(shù)、最大、最小、最大至最小、 ―*8 一般功能 光強聚積、顯微鏡 (LT-9501H, LT-9501HSO (5654))、公差判斷、8 程序登錄、 溫度特性 (20 至 30°C) F.S. 的 ±0.5% F.S. 的 ±0.25% 額定 電源電壓 100 至 240 VAC ±10 %、50/60 Hz 額定值 功率消耗 最大 110 VA 環(huán)境抗耐性 污染等級 2 過電壓類別 II 環(huán)境光照 白熾燈/熒光燈：10,000 lux 以下 環(huán)境溫度 0 至 +35 °C 相對濕度 35 至 85 % RH (無凝結(jié)) 重量 約 400 g 約 500 g *1 測量的目標(biāo)物是在位移模式下被測量的鏡面表面物體，掃描寬度/間隔 120 μm/2 μm，和平均 8 次時的值。 型號 LT-C2*1 LT-C10*1 纜線長度 2 m 10 m 重量 約 200 g 約 700 g *1 能最多連接3 根纜線，總長為 20 m。表面掃描激光共焦位移計
特性
適用于任何可能目標(biāo)物的高分辨率測量
輕松測量微觀目標(biāo)物
透明物體厚度測量
輪廓測量
NPN 開路集電極輸出*4
擇、反黑、屏蔽、趨勢圖顯示和掃描
寬度/間隔改變*6
面積) 面積計算、掃描寬度/間隔改變、反黑、
平滑、平均計算和形狀數(shù)據(jù)輸出*6
校準(zhǔn)、平均計算、保持模式、自動歸零、和界面語言選擇
*2 根據(jù)設(shè)定而不同。
*3 監(jiān)視器專用電源由 KEYENCE 指定。
*4 限制模式和二進制模式選擇其一。
*5 距離模式或形狀模式選擇其一 （距離模式僅有 LT-9501HSO (5654)/LT-9001HSO (5655)）NPN 型開路集電極輸出額定值設(shè)定最大為 30 mA (30 V 或 30 V 以下)，剩余電壓為 0.5 V。 無電壓輸出設(shè)定值為 ON (開啟) 時 1 V 電壓或 1 V 以下，設(shè)定值為 OFF (關(guān)閉) 時電流 0.6 mA 或 0.6 mA 以下。
*6 距離模式或形狀模式選擇其一 （距離模式僅有 LT-9501HSO (5654)/LT-9001HSO (5655)）NPN 型開路集電極輸出額定值設(shè)定最大為 30 mA (30 V 或 30 V 以下)，剩余
電壓為 0.5 V。 無電壓輸出設(shè)定值為 ON (開啟) 時 1 V 電壓或 1 V 以下，設(shè)定值為 OFF (關(guān)閉) 時電流 0.6 mA 或 0.6 mA 以下。
1 類激光產(chǎn)品 (IEC 60825-1)
NPN 開路集電極輸出*6
(波長: 870 nm)
(波長: 870 nm)
擇、反黑、屏蔽、趨勢圖顯示和掃描
寬度/間隔改變*8
面積) 面積計算、掃描寬度/間隔改變、反黑、
平滑、平均計算和形狀數(shù)據(jù)輸出*8
校準(zhǔn)、平均計算、保持模式、自動歸零、和界面語言選擇
*2 根據(jù)單個測量模式制造差異，取樣周期也不同。當(dāng) FINE (精細) 模式設(shè)為 OFF (關(guān)閉) 時的值。
*3 顯示每 ±0.3 μm 的變化。
*4 根據(jù)設(shè)定而不同。
*5 監(jiān)視器專用電源由 KEYENCE 指定。
*6 限制模式和二進制模式選擇其一。
*7 距離模式或形狀模式選擇其一 （距離模式僅有 LT-9501HSO (5654)/LT-9001HSO (5655)）NPN 型開路集電極輸出額定值設(shè)定最大為 30 mA (30 V 或 30 V 以下)，剩余電壓為 0.5 V。 無電壓輸出設(shè)定值為 ON (開啟) 時 1 V 電壓或 1 V 以下，設(shè)定值為 OFF (關(guān)閉) 時電流 0.6 mA 或 0.6 mA 以下。
*8 距離模式或形狀模式選擇其一 （距離模式僅有 LT-9501HSO (5654)/LT-9001HSO (5655)）NPN 型開路集電極輸出額定值設(shè)定最大為 30 mA (30 V 或 30 V 以下)，剩余
電壓為 0.5 V。 無電壓輸出設(shè)定值為 ON (開啟) 時 1 V 電壓或 1 V 以下，設(shè)定值為 OFF (關(guān)閉) 時電流 0.6 mA 或 0.6 mA 以下。