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WI-5000 系列 干涉式同軸 3D 位移測(cè)量?jī)x
型號(hào)： WI-5000 系列
品牌： 日本基恩士KEYENCE
產(chǎn)品描述
WI-5000 系列 針對(duì)最大 10 × 10 mm 的測(cè)量區(qū)域，可瞬間獲取 8 萬個(gè)點(diǎn)的高度。 由于采用白光干涉原理，不受材質(zhì)/顏色、死角的影響，實(shí)現(xiàn)了微米級(jí)的高精度測(cè)量。 測(cè)量多點(diǎn)時(shí)，需要高精度且高速掃描目標(biāo)物。 因此，往往會(huì)將時(shí)間浪費(fèi)在移動(dòng)載物臺(tái)上，不易進(jìn)行全數(shù)檢測(cè)。 由于 WI-5000 系列是以面進(jìn)行同時(shí)測(cè)量，因此可大幅縮短測(cè)量時(shí)間，實(shí)現(xiàn)全數(shù)檢測(cè)。 為了用于離線檢測(cè)，備有可固定傳感器頭的專用底座。 配備可削減檢測(cè)工時(shí)的各種實(shí)用功能。 改善從簡(jiǎn)易測(cè)量到保存數(shù)據(jù)等各種情況的可操作性。 型號(hào) WI-001*1*2*3 WI-004*1*2*3 WI-010*1*2*3 參考距離 18 mm 測(cè)量范圍 Z 1.4 mm(標(biāo)準(zhǔn)模式)，0.7 mm(高速模式) XY 1 × 1 mm 4 × 4 mm 10 × 10 mm 最小檢測(cè)區(qū)域 4 × 4 μm 15 × 15 μm 40 × 40 μm 重復(fù)精度(段差) 0.1 μm*4 直線性(段差) ±2.8 μm(±0.2% of F.S.，F(xiàn).S.=1.4 mm，+20 至+30℃)*5 測(cè)量用光源 類型 紅外線SLD 中心波長(zhǎng) 830 nm 激光分類(IEC60825-1, GB7247.1) 3R 類 輸出 3.6 mW 引導(dǎo)用光源 類型 紅色半導(dǎo)體激光 波長(zhǎng) 660 nm 激光分類(IEC60825-1, GB7247.1) 1 類 輸出 0.15 mW 采樣周期 內(nèi)部觸發(fā) 133 ms(高速模式)，266 ms(標(biāo)準(zhǔn)模式) 外部觸發(fā) 最快 266 ms(高速模式)，最快 532 ms(標(biāo)準(zhǔn)模式)*6 環(huán)境抗耐性 環(huán)境光照 白熾燈/熒光燈：5,000 lux 以下 環(huán)境溫度 0 至 +35 °C 相對(duì)濕度 20 至 85 % RH (無凝結(jié)) 重量 約 3000 g *1 FDA (CDRH) 的激光分類是基于 IEC60825-1 并根據(jù) Laser Notice No.50 的要求而實(shí)施的。高度(從測(cè)量頭的基準(zhǔn)面到測(cè)量工件的距離)的分辨率為 1μm(*2)。 型號(hào) WI-5000 測(cè)量頭連接臺(tái)數(shù) 1 臺(tái) 設(shè)定注冊(cè)數(shù) SD 卡 1、SD 卡 2 分別可保存 1000 個(gè)(取決于 SD 卡容量及設(shè)定內(nèi)容)，可進(jìn)行外部切換 測(cè)量工具數(shù) 100 個(gè)/ 設(shè)定(其中20 個(gè)為位置偏移補(bǔ)正用) 測(cè)量模式 高度 高度測(cè)量、段差測(cè)量、多點(diǎn)高度測(cè)量(固定配置)、多點(diǎn)高度測(cè)量(自由配置)、輪廓測(cè)量、連續(xù)高度測(cè)量 圖像尺寸測(cè)量 距離測(cè)量、寬度測(cè)量、直線檢測(cè)、角度測(cè)量、圓檢測(cè)、點(diǎn)檢測(cè) 輔助功能 數(shù)值計(jì)算、圖像范圍生成、直線顯示、圓顯示、點(diǎn)顯示、刻度線顯示 接口 控制輸入 20 點(diǎn)(輸入端子臺(tái)5 點(diǎn)，并聯(lián) I/O15 點(diǎn)) 控制輸出 ?28 點(diǎn)(輸出端子臺(tái) 6 點(diǎn)，并聯(lián)I/O 22 點(diǎn)) RS-232C 數(shù)值輸出及控制輸入輸出(無法與使用 RS-232C 端口的 PLC 鏈接同時(shí)使用) PLC 鏈接 使用 Ethernet 端口或 RS-232C 端口進(jìn)行數(shù)值輸出及控制輸入輸出(無法與 EtherNet/IPTM 同時(shí)使用。使用 RS-232C 端口時(shí)，無法與 RS-232C 無協(xié)議通信同時(shí)使用) Ethernet ?數(shù)值輸出及控制輸入輸出 USB ?與基恩士生產(chǎn)的PC 應(yīng)用軟件連接后，除了數(shù)值輸出、控制輸入輸出以外，還能進(jìn)行包含檢測(cè)設(shè)定的上傳、下載、各種模擬、圖像數(shù)據(jù)在內(nèi)的各種數(shù)據(jù)的收發(fā)、遠(yuǎn)程連接 EtherNet/IPTM ?使用Ethernet 端口進(jìn)行數(shù)值輸入輸出及控制輸入輸出(無法與PLC 鏈接同時(shí)使用) 鼠標(biāo) 可使用選配件的專用鼠標(biāo)(8與控制器包裝在一起)進(jìn)行各種菜單操作 USB HDD 通過將專用的USB 端口(符合USB3.0，支持總線電源：額定輸出 900 mA)連接到HDD(最大 2 TB)，可輸出包含圖像數(shù)據(jù)在內(nèi)的各種數(shù)據(jù) 顯示器輸出 模擬 RGB 輸出 XGA 1024 × 768(24 bit 彩色，60 Hz) 最小顯示單位 0.1 μm、0.001°、0.0001 mm2、0.00001 mm3 顯示語言 簡(jiǎn)體中文/ 繁體中文/ 日文/ 英文/ 韓文 切換(初次啟動(dòng)時(shí)決定初始語言) 額定 最大消耗電流 2.7 A 電源電壓 24 VDC ±10 % 環(huán)境抗耐性 環(huán)境溫度 0 至 +45 °C (DIN 導(dǎo)軌安裝)、0 至 +40 °C (底面安裝) 相對(duì)濕度 35 至 85 % RH (無凝結(jié)) 重量 約 2,000 g *1 支持NPN 輸入設(shè)備的+ 共用連接、支持PNP 輸入設(shè)備的- 共用連接均可。 型號(hào) WI-S1 XY 載物臺(tái)移動(dòng)量 X 軸：75 mm，Y 軸：50 mm XY 載物臺(tái)傾斜角度 ±2 度 Z 軸載物臺(tái)移動(dòng)量 粗調(diào)節(jié)輪：64 mm，微調(diào)節(jié)輪：2.0 mm 外形尺寸(可動(dòng)部位除外) 寬度 231 × 高度 408 × 深度 360 mm 重量 約 10 kg 型號(hào) WI-C3 WI-C5 WI-C10 WI-C3L WI-C5L WI-C10L WI-C3R WI-C5R WI-C10R 類型 測(cè)量頭連接電纜 標(biāo)準(zhǔn) 測(cè)量頭連接電纜 高柔性 末端形狀 直型 L 型 直型 長(zhǎng)度 3 m 5 m 10 m 3 m 5 m 10 m 3 m 5 m 10 m干涉式同軸 3D 位移測(cè)量?jī)x
特性
并非以點(diǎn)線測(cè)量，而是以“面”進(jìn)行測(cè)量
在線實(shí)現(xiàn)高速全數(shù)檢測(cè)
大幅削減離線檢測(cè)工時(shí)
應(yīng)用案例
電子、電氣行業(yè)
測(cè)量精密粘合劑的高度、體積
檢測(cè)LED芯片的安裝后高度、傾斜
檢測(cè)CMOS的高度、傾斜
測(cè)量表面安裝部件的端子高度
汽車、金屬行業(yè)
測(cè)量閥的行程終端
測(cè)量ECU底座的焊錫高度、體積
液晶、半導(dǎo)體行業(yè)
晶片切割后的槽深度
測(cè)量蝕刻后的高度差
其他行業(yè)
測(cè)量精密加工品的高度差、平面度
檢測(cè)精密閥的墊片翹起
*2 使用基恩士標(biāo)準(zhǔn)目標(biāo)物，并測(cè)量單一矩形區(qū)域(*3)的平均高度 30 秒時(shí)的±3σ 值(自動(dòng)修復(fù)OFF 時(shí))。
*3 矩形的尺寸為WI-001：0.3 × 0.9 mm，WI-004：1.1 × 3.7 mm，WI-010：3 × 9 mm。
*4 使用基恩士標(biāo)準(zhǔn)目標(biāo)物，并測(cè)量 2 個(gè)矩形區(qū)域(*3)的平均段差 30 秒時(shí)的σ 值(自動(dòng)修復(fù)OFF 時(shí)，且拍攝時(shí)間為精確度優(yōu)先時(shí))。
*5 使用基恩士標(biāo)準(zhǔn)目標(biāo)物，并測(cè)量 2 個(gè)矩形區(qū)域(*3)的平均段差時(shí)的值(自動(dòng)修復(fù)OFF 時(shí)，且拍攝時(shí)間為精確度優(yōu)先時(shí))。
*6 拍攝時(shí)的工件停止時(shí)間為高速模式 120 ms，標(biāo)準(zhǔn)模式 240 ms。
?光MOSFET*1
?與基恩士生產(chǎn)的PC 應(yīng)用軟件連接后，除了上述功能以外，還能進(jìn)行包含檢測(cè)設(shè)定的上傳、下載、各種模擬、圖像數(shù)據(jù)在內(nèi)的各種數(shù)據(jù)的收發(fā)、程連接
?支持FTP 客戶端、服務(wù)器功能，支持VNC 服務(wù)器功能(計(jì)算機(jī)以外的客戶端僅支持顯示器畫面顯示)、BOOTP 功能
?1000BASE-T/100BASE-TX/10BASE-T
?USB2.0 專用
?支持循環(huán)通信(最大 1436 byte)、支持信息通信
?最大連接數(shù) 32
?遵循一致性測(cè)試 CT12 版